等離子清洗機的結構主要由三部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
一、控制單元：國內外使用的等離子清洗機的控制單元主要為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。而控制單元又分為兩個大的部分：
１、電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的。
２、系統控制單元：分三種，按鈕控制（半自動、全自動）、電腦控制、PLC控制（液晶觸摸屏控制）。
二、真空腔體：等離子清洗機的真空腔體主要是分為兩種材質的：
１、不銹鋼真空腔體。
２、石英腔體。
三、真空泵：等離子清洗機的真空泵分為兩種：１.干泵２、油泵
等離子清洗機使用注意事項：
1、正確設置等離子清洗機的運行參數，必須按照使用說明書來執行。
2、保護好等離子體的點火裝置，以確保等離子清洗機能夠正常的運行。
3、等離子清洗機啟動前的準備工作，要對相關的人員進行培訓，按照要求嚴格執行各項操作。
4、在一次風管沒有通風的時候，等離子清洗機的運行時間不能超過說明書上面要求的時間，防止造成不必要的損失。
5、進行維護保養時，請先將等離子清洗機斷電后再進行相對應的操作。
